Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
|
- Артикул:
- Наличие: 0
- Единица: шт.
Наличие: Есть в наличии
|
|
|
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Бегущая строка
🚀 Этот сайт сдается в аренду! Если вы продаете похожее оборудование, мы можем разместить ваши контакты на данном сайте и вы привлечете много новых клиентов!
Подробнее
Добавлен в каталог: Четверг, 26.10.2017
Внимание!
Цена товара
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии не окончательна и может отличаться от правильной цены на сегодняшний день. Обновление стоимости оборудования на сайте в разделе интернет-магазин происходит раз в три месяца. Точную стоимость оборудования Вы можете скачать
ЗДЕСЬ. В любом случае при запросе оборудования, Вы можете расчитывать на значительные скидки!
Мы осуществляем
бесплатную доставку товаров до транспортных компаний, для отгрузки в любой регион России и стран СНГ. Все купленные товары отгружаются с сопроводительными документами, паспортами, сертификатами соответствия и качества, а также подробными инструкциями по эксплуатации и установке.
Если у вас большая заявка или спецификация, присылайте сразу на почту
teplorost@mail.ru
Обработаем заказ в течении часа!
Получить оперативную консультацию инженера Вы можете
Обращаем ваше внимание на то, что данный интернет-сайт www.relasko.ru носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 (2) Гражданского кодекса РФ. Цена товара может отличаться от действительной. Пожалуйста, уточняйте правильные цены у наших менеджеров.
160
