Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.
Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.
Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.
Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Бегущая строка
🚀 Этот сайт сдается в аренду! Если вы продаете похожее оборудование, мы можем разместить ваши контакты на данном сайте и вы привлечете много новых клиентов!
Подробнее
Добавлен в каталог: Четверг, 26.10.2017
Внимание!
Цена товара Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие не окончательна и может отличаться от правильной цены на сегодняшний день. Обновление стоимости оборудования на сайте в разделе интернет-магазин происходит раз в три месяца. Точную стоимость оборудования Вы можете скачать ЗДЕСЬ. В любом случае при запросе оборудования, Вы можете расчитывать на значительные скидки!
Мы осуществляем бесплатную доставку товаров до транспортных компаний, для отгрузки в любой регион России и стран СНГ. Все купленные товары отгружаются с сопроводительными документами, паспортами, сертификатами соответствия и качества, а также подробными инструкциями по эксплуатации и установке.
Если у вас большая заявка или спецификация, присылайте сразу на почту
teplorost@mail.ru
Обработаем заказ в течении часа!
Получить оперативную консультацию инженера Вы можете
Обращаем ваше внимание на то, что данный интернет-сайт www.relasko.ru носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 (2) Гражданского кодекса РФ. Цена товара может отличаться от действительной. Пожалуйста, уточняйте правильные цены у наших менеджеров.
Обращаем ваше внимание на то, что данный интернет-сайт www.relasko.ru носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 (2) Гражданского кодекса РФ. Цена и наличие товара может отличаться от действительной. Пожалуйста, уточняйте цены и наличие товара у наших менеджеров.
Администрация сайта не несет ответственности за действия и содержание размещаемой информации пользователей: комментарии, материалы, сообщения и темы на форуме, публикации, объявления и т.д.
